シーズ情報詳細
1702003 : 日本マイクロ光器株式会社
案件番号 |
000151 |
テーマ名 |
サブナノメートル精度レーザ干渉変位計
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シーズ情報
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概要 |
誤差10ピコメートル以下の高精度レーザ干渉変位計 |
キーワード |
レーザ干渉計、形状計測、ステージ位置決め、ナノメートル、ピコメートル |
特徴・効果 |
従来の変位センサではナノメートルの分解精度は得られても誤差がありナノメートル精度の正確さは得られませんでした。本レーザ干渉変位計は非線形誤差10ピコメートル以下であることを確認しており、サブナノメートル精度の変位が計測できます。ナノメートル精度の形状計測や超精密位置決めの分野に適します。 |
新規性・優位性 |
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知的財産権等情報 |
なし |
その他の情報(希望提携先等) |
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参考図表 |
関連情報へのURL |