シーズ情報詳細
1702003 : 日本マイクロ光器株式会社
案件番号
 000151
テーマ名
 サブナノメートル精度レーザ干渉変位計
シーズ情報
概要
誤差10ピコメートル以下の高精度レーザ干渉変位計
キーワード
レーザ干渉計、形状計測、ステージ位置決め、ナノメートル、ピコメートル
特徴・効果
従来の変位センサではナノメートルの分解精度は得られても誤差がありナノメートル精度の正確さは得られませんでした。本レーザ干渉変位計は非線形誤差10ピコメートル以下であることを確認しており、サブナノメートル精度の変位が計測できます。ナノメートル精度の形状計測や超精密位置決めの分野に適します。
新規性・優位性

		
知的財産権等情報
なし
その他の情報(希望提携先等)

		
参考図表
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