シーズ情報詳細
1702003 ： 日本マイクロ光器株式会社
| 案件番号 |
| 000151 |
| テーマ名 |
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サブナノメートル精度レーザ干渉変位計
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シーズ情報
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| 概要 |
誤差10ピコメートル以下の高精度レーザ干渉変位計 |
| キーワード |
レーザ干渉計、形状計測、ステージ位置決め、ナノメートル、ピコメートル |
| 特徴・効果 |
従来の変位センサではナノメートルの分解精度は得られても誤差がありナノメートル精度の正確さは得られませんでした。本レーザ干渉変位計は非線形誤差10ピコメートル以下であることを確認しており、サブナノメートル精度の変位が計測できます。ナノメートル精度の形状計測や超精密位置決めの分野に適します。 |
| 新規性・優位性 |
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| 知的財産権等情報 |
なし |
| その他の情報(希望提携先等) |
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| 参考図表 |
関連情報へのURL |